1. Дифрактометр D8 Discover;
  2. ИК Фурье спектрометр IFS 66v/S;
  3. Лаборатория сканирующая зондовая Ntegra;
  4. Лаборатория сканирующая зондовая Asylum Research MFP 3D;
  5. Микроскоп Axio Imager M1;
  6. Микротвердомер с управляемой скоростью TUKON 2100;
  7. Комплекс НАНОФАБ ТНК 100;
  8. Оже-спектрометр электронный PHT-680;
  9. Система оптического исследования тонких пленок Эллипсометр;
  10. Спектрометр рентгеновский фотоэлктронный PHI-5500;
  11. УВИ-спектрофотометр CARY-5000;
  12. Профилометр Alpha-Step IQ;
  13. Вторичный ионный масс-спектрометр PHI-6600.