Кафедра МПиД реализует учебную программу для магистров Института новых материалов и нанотехнологий «Спектроскопические и зондовые методы исследования материалов» («Современные методы диагностики и исследования наногетероструктур»). Разработчики РПД — деценты, к.ф.-м.н. Подгорный Дмитрий Андреевич и Комарницкая Елена Александровна, профессор, д.ф.-м.н. Пархоменко Юрий Николаевич.
Цель дисциплины — научить основам, принципам, достоинствам и ограничениям современных методов и средств для диагностики и исследования материалов, структур, технологических процессов и оборудования, выявления причинно-следственных связей в соответствии с научно-исследовательскими, опытно-конструкторскими, техническими и производственными заданиями и требованиями отечественных и международных стандартов.
Практические и лабораторные занятия проводятся с использованием наглядных пособий, образцов, установок с соответствующим программным обеспечением Учебно-научного комплекса лабораторий Спектроскопических методов исследования и Сканирующей зондовой микроскопии кафедры материаловедения полупроводников и диэлектриков и Центра коллективного пользования «Материаловедение и металлургия»: электронный оже-спектрометр PHI-680 AES фирмы «Physical Electronics»; рентгеновский фотоэлектронный спектрометр PHI-5500 ESCA фирмы «Physical Electronics»; рентгеновский фотоэлектронный спектрометр PHI VersaProbe II 5000; вторичный ионный масс-спектрометр PHI-6600 SIMS System фирмы «Physical Electronics»; профилометр ALPHA-STEP фирмы Tencor; сканирующий зондовый микроскоп MFP 3D Stand Аlone (Asylum Research); сканирующая зондовая лаборатория NTEGRA фирмы «NT-МЭТ»; сканирующий туннельный микроскоп (СТМ) (оригинальная разработка Центра).